盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域
盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域
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贾照伟
◎邱思雨记者李兴彩
在9月4日举办的第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC2025）半导体制造与设备及核心部件董事长论坛上，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（下称“盛美上海”）工艺副总裁贾照伟发表题为《三维芯片集成领域电镀技术的挑战和机遇》的主题演讲，分享了盛美上海在该领域的技术进展与解决方案。
贾照伟的演讲围绕三方面展开：三维整合与AI芯片的技术趋势、电镀领域面临的难题，以及盛美的应对方案。他表示，三维芯片堆叠成为主流趋势，通过整合不同功能芯片实现更强性能，但这对集成电路互联技术和设备提出了更高要求。以HBM（高带宽存储器）为例，其封装技术从凸点发展到混合键合直接互联，推动电镀技术向TSV（硅通孔）、亚微米互联等跨代应用演进。
聚焦电镀领域，贾照伟列举了几大核心挑战：芯片堆叠导致的应力与桥曲问题，给晶圆运输和机械操作带来困难；从圆片到方片的加工转型，不同功能芯片垂直互联在共面性和均匀性等方面对电镀设备工艺能力和适配性提出新要求。此外，高深宽比深孔的清洗与电镀、Chiplet倒装后的精细结构的助焊剂清洗等，都是行业普遍面临的难题。
在设备研发方面，贾照伟表示，盛美依托其在电镀领域的技术积累，推出了覆盖多场景的系列产品：前道大马士革电镀机通过具有自主知识产权的双阳极设计，在简化结构的同时保证均匀性，满足不同产品边缘效应控制需求；先进封装领域的电镀设备采用专利化的第二阳极设计等技术，通过电场控制解决特定区域的镀层偏差问题。目前，在集成电路领域相关电镀设备已覆盖28纳米及更先进制程，在TSV、先进封装、第三代半导体等领域实现大规模量产。
贾照伟说，盛美半导体的业务已从清洗设备和电镀设备拓展至炉管、PECVD、Track等多领域，在上海及韩国等地设有研发与生产基地，服务网络覆盖全球。
“我们不仅实现本土化，更通过技术升级、开发独创性差异化的技术解决行业痛点。”贾照伟表示，盛美上海将持续深耕三维芯片集成领域，以创新应对挑战，把握产业机遇。
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结语
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清远市（清城、清新）
宜昌市（宜都市、长阳土家族自治县、🛑当阳市、🧓五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🕎市辖区）
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无锡市盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域电话-400各市区电话（梁溪、滨湖、惠山、新吴、锡山）
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贵州省安顺市（西秀区、🍾平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、😌关岭布依族苗族自治县、🥂紫云苗族布依族自治县、🤲安顺市、开阳县）
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嘉兴市（海宁市、🍒市辖区、🛡秀洲区、🤔平湖市、😦桐乡市、南湖区、🥭嘉善县、海盐县）
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台州市（椒江、😸黄岩、🍟️路桥）
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雅安市（汉源县、市辖区、🤝名山区、🚫石棉县、🦈荥经县、宝兴县、天全县、💪芦山县、🥯雨城区）
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株洲市（荷塘、芦淞、石峰、🤤天元）
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安康市（宁陕县、🐆白河县、汉阴县、🤨️岚皋县、石泉县、市辖区、紫阳县、🕜汉滨区、♋️️旬阳县、镇坪县、平利县）
常州市（天宁、😿钟楼、新北、武进、日照坛）
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中卫市（沙坡头区、海原县、中宁县、✨市辖区）
金华市（武义县、东阳市、磐安县、浦江县、🐒兰溪市、🍃永康市、婺城区、义乌市、🦟市辖区、金东区）
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日本两年期国债收益率飙升至2008年以来最高，市场静候央行利率决议智通财经注意到，日本两年期国债价格下跌，推动收益率升至2008年以来最高水平，追随美国国债在日本央行政策会议前的走势。对货币政策预期敏感的两年期收益率上升0.5个基点至0.885%。美国周度就业数据令市场对美联储本周降息25个基点后今年进一步降息的预期产生疑虑，隔夜美债收益率同样攀升
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