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盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域

盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域

更新时间: 浏览次数: 258

贾照伟

◎邱思雨记者李兴彩

在9月4日举办的第十三届半导体设备与核心部件及材料展(CSEAC2025)半导体制造与设备及核心部件董事长论坛上,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(下称“盛美上海”)工艺副总裁贾照伟发表题为《三维芯片集成领域电镀技术的挑战和机遇》的主题演讲,分享了盛美上海在该领域的技术进展与解决方案。

贾照伟的演讲围绕三方面展开:三维整合与AI芯片的技术趋势、电镀领域面临的难题,以及盛美的应对方案。他表示,三维芯片堆叠成为主流趋势,通过整合不同功能芯片实现更强性能,但这对集成电路互联技术和设备提出了更高要求。以HBM(高带宽存储器)为例,其封装技术从凸点发展到混合键合直接互联,推动电镀技术向TSV(硅通孔)、亚微米互联等跨代应用演进。

聚焦电镀领域,贾照伟列举了几大核心挑战:芯片堆叠导致的应力与桥曲问题,给晶圆运输和机械操作带来困难;从圆片到方片的加工转型,不同功能芯片垂直互联在共面性和均匀性等方面对电镀设备工艺能力和适配性提出新要求。此外,高深宽比深孔的清洗与电镀、Chiplet倒装后的精细结构的助焊剂清洗等,都是行业普遍面临的难题。

在设备研发方面,贾照伟表示,盛美依托其在电镀领域的技术积累,推出了覆盖多场景的系列产品:前道大马士革电镀机通过具有自主知识产权的双阳极设计,在简化结构的同时保证均匀性,满足不同产品边缘效应控制需求;先进封装领域的电镀设备采用专利化的第二阳极设计等技术,通过电场控制解决特定区域的镀层偏差问题。目前,在集成电路领域相关电镀设备已覆盖28纳米及更先进制程,在TSV、先进封装、第三代半导体等领域实现大规模量产。

贾照伟说,盛美半导体的业务已从清洗设备和电镀设备拓展至炉管、PECVD、Track等多领域,在上海及韩国等地设有研发与生产基地,服务网络覆盖全球。

“我们不仅实现本土化,更通过技术升级、开发独创性差异化的技术解决行业痛点。”贾照伟表示,盛美上海将持续深耕三维芯片集成领域,以创新应对挑战,把握产业机遇。

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清远市(清城、清新)




宜昌市(宜都市、长阳土家族自治县、🛑当阳市、🧓五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🕎市辖区)




淮安市(淮安、淮阴、🌐清江浦、🏏洪泽)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、🆘乌拉特后旗、乌拉特前旗、🦏️市辖区、🕙临河区、🎋五原县)




焦作市(解放、中站、马村、山阳)




娄底市(娄星)




鞍山市:🍿铁东区、铁西区、🌗立山区、🌦千山区。




郴州市(北湖、苏仙)




牡丹江市:🐋东安区(部分区域未列出)、西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




唐山市(丰润区、🌷丰南区、遵化市、🧒迁安市、👎️开平区、唐海县、🉐滦南县、🐾乐亭县、滦州市、玉田县、🦙迁西县、遵化市、唐山市路南区)




南通市(崇川区,港闸区,开发区,🥡海门区,🍙海安市。)




厦门市(思明、海沧、🆔湖里、🐅集美、同安、翔安)




湘西土家族苗族自治州(凤凰县、🦅永顺县、🙄泸溪县、😱保靖县、😋吉首市、花垣县、龙山县、古丈县)




白山市:浑江区、🥊江源区。




江门市(蓬江、江海、新会)




常熟市(方塔管理区、♋️虹桥管理区、🦛琴湖管理区、💔兴福管理区、谢桥管理区、⚡️大义管理区、🌙莫城管理区。)宿迁(宿豫区、🤛宿城区、✋湖滨新区、洋河新区。)




荆州市(沙市、💣荆州)




三亚市(淮北、🤝吉阳、天涯、崖州)




廊坊市(安次、广阳)




无锡市盛美上海贾照伟: 以创新应对挑战 持续深耕三维芯片集成领域电话-400各市区电话(梁溪、滨湖、惠山、新吴、锡山)




宜春市(袁州)




六安市(日照安、🈯️裕安、叶集)




锦州市(凌海市、🤣义县、🤝黑山县、🥛凌河区、🥪市辖区、古塔区、😝北镇市、😲太和区)




银川市(永宁县、兴庆区、西夏区、金凤区、🐃贺兰县、灵武市、市辖区)




安康市(宁陕县、😏白河县、🔯汉阴县、岚皋县、☮️石泉县、👻市辖区、紫阳县、🌧汉滨区、🐣旬阳县、镇坪县、🤖平利县)




宜昌市(伍家岗区、西陵区、点军区、🕉猇亭区、✍夷陵区、🍍远安县、👆兴山县、秭归县、🥕长阳土家族自治县、🦗五峰土家族自治县、🦀宜都市、当阳市、🍢枝江市、⛅️虎亭区)




白山市:浑江区、💚江源区。




赣州市(南康区、♏️章贡区、🌝赣县区、🐥信丰县、大余县、上犹县、♍️崇义县、安远县、⛈龙南县、🆚定南县、全南县、宁都县、😦于都县、兴国县、🆎会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇)




绍兴市(越城、柯桥、上虞)




杭州市(临安、😿上城、下城、👏江干、拱野、🌛西湖、滨江、余杭)




揭阳市(榕城、💔揭东)




鹰潭市(余江县、市辖区、🍛贵溪市、😃月湖区)




邯郸市(邯山、🌳丛台、🦆复兴、😢峰峰矿、肥乡、永年)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、⚡️乌拉特后旗、乌拉特前旗、❎市辖区、🤲临河区、🤚五原县)




宜昌市(伍家岗区、西陵区、点军区、猇亭区、夷陵区、😖远安县、兴山县、秭归县、♏️长阳土家族自治县、🤪五峰土家族自治县、🏈宜都市、☢️当阳市、枝江市、虎亭区)




襄阳市(樊城区、襄州区、老河口市、💪‍宜城市、南漳县、谷城县、保康县、🐍‍枣阳市、定南县、🈴随州市、白浪镇、城关镇、🐃赵家镇、东津镇、堰头镇)




湖州市(南湖、秀洲)




马鞍山市(花山、雨山)




邢台市(柏乡县、临西县、任县、🌰‍新河县、🕉宁晋县、南宫市、🐫内丘县、清河县、🏒‍巨鹿县、⚾️临城县、🙈隆尧县、❓南和县、威县、桥东区、邢台县、🍘市辖区、平乡县、桥西区、🧑广宗县、沙河市)




银川市(永宁县、🐐兴庆区、😘西夏区、🦗金凤区、贺兰县、🚳灵武市、市辖区)




遵义市(汇川区、红花岗区、遵义县、✡️桐梓县、绥阳县、正安县、道真仡佬族苗族自治县、🦏务川县、🙃凤冈县、🤚湄潭县、余庆县、习水县、💣‍赤水市、🐌仁怀市、土家族苗族自治县、🌔铜仁市、☮️松桃苗族自治县、万山区、黔西县)




襄阳市(襄城、✨樊城、👎‍襄州)




长春市(南关、宽城、💔️朝阳、二道、☸️绿园、双阳)




桂林市(象山区、叠彩区、🌟‍七星区、💣️临桂区、阳朔县、🍫灵川县、全州县、兴安县、灌阳县、荔浦市、🕣资源县、平乐县、恭城瑶族自治县、龙胜各族自治县、永福县)




重庆市(绵阳、🦟涪陵、渝中、☯️大渡口、🛐️江北、👺沙坪坝、🥡️九龙坡、南岸、北培、万盛、双桥、渝北、巴南)




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蚌埠市(五河县、☢️️固镇县、🤧市辖区、淮上区、龙子湖区、蚌山区、怀远县、禹会区)




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宁波市(海曙、🤞️江东、😩江北、❤️北仑、🦇镇海)




甘肃省兰州市(城关区、👊七里河区、西固区、🐺安宁区、红古区、永登县、皋兰县、榆中县、兰州新区、皋兰县、😔雁滩区)




抚顺市:✊顺城区、新抚区、🙀东洲区、望花区。




衡阳市(珠晖、雁峰、🥋石鼓、💮蒸湘、南岳)




咸宁市(通山县、🐁咸安区、崇阳县、通城县、😎市辖区、赤壁市、嘉鱼县)




新竹县(新丰乡、🕤峨眉乡、湖口乡、🙏关西镇、新埔镇、🐲横山乡、尖石乡、北埔乡、竹东镇、🍨宝山乡、芎林乡、🤞五峰乡、✋竹北市)




太仓市(城厢镇、金浪镇、🤧沙溪镇、璜泾镇、浏河镇、浏家港镇;)




南通市(崇州、港闸、通州)




宜昌市(西陵、伍家岗、🌺‍点军、猇亭、💙️夷陵)




铁岭市:💐银州区、🐦清河区。




贵州省安顺市(西秀区、🍾平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、😌关岭布依族苗族自治县、🥂紫云苗族布依族自治县、🤲安顺市、开阳县)




抚顺市:顺城区、新抚区、🐍东洲区、🐁望花区。




济南市(历下、市中、槐荫、天桥、🥃历城、长清)




珠海市(香洲区、斗门区、🌥金湾区、🐏横琴新区、万山区、♍️珠海高新区、🌼唐家湾镇、🍖三灶镇、白石镇、🦕前山镇、🔯南屏镇、🅾️珠海港镇、金鼎镇)




铁岭市:🐡银州区、清河区。




南昌市(东湖区、🆚西湖区、🥮青山湖区、红谷滩新区、南昌县、新建区、😠安义县、进贤县、😱️湾里区、🦙昌北区)




南投县(信义乡、🤩竹山镇、🐉中寮乡、👎水里乡、😯‍草屯镇、🦁仁爱乡、名间乡、🐃埔里镇、🙉鹿谷乡、国姓乡、鱼池乡、🐺集集镇、南投市)




榆林市(榆阳区,横山区)朝阳市(双塔区、龙城区)




上饶市(信州、广丰、广信)




益阳市(南县、资阳区、☪️‍桃江县、🦁市辖区、♈️‍沅江市、赫山区、安化县)




南昌市(东湖区、西湖区、🙊青山湖区、红谷滩新区、南昌县、🛡安义县、进贤县、经开区、青山湖区、湾里区、🍅赣江新区、青云谱区、😻浔阳区)




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本溪市:平山区、明山区、🍋溪湖区、南芬区。




乐山市(市中、🥂沙湾、五通桥、日照口河)




鹤壁市(淇县、☘️鹤山区、🌭浚县、山城区、市辖区、淇滨区)




白山市(靖宇县、☢️浑江区、江源区、长白朝鲜族自治县、抚松县、💥临江市、⛎市辖区)




贵州省安顺市(西秀区、平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、💮关岭布依族苗族自治县、🐜紫云苗族布依族自治县、安顺市、🤘开阳县)




九江市(莲溪、🥏浔阳)




牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、👹西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




东莞市(莞城、🤲南城、🎽万江、东城,石碣、🐞石龙、🤲‍茶山、😏石排、🧒企石、横沥、桥头、谢岗、🍩东坑、🤡常平、🐫寮步、😓大朗、黄江、清溪、塘厦、凤岗、🐵长安、🦇惠东、🐂厚街、🉐沙田、道窖、洪梅、🅱️麻涌、📛中堂、✝️高步、⛔️樟木头、🍷大岭山、🌜望牛墩)




通辽市(科尔沁区、🔅扎鲁特旗、♻️开鲁县、霍林郭勒市、市辖区、🉐科尔沁左翼中旗、✋库伦旗、科尔沁左翼后旗、🐅奈曼旗)




桂林市(秀峰区、🦇️象山区、七星区、雁山区、😾临桂区、🌧阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、♏️荔浦市、灵川县、全州县、😽永福县、🕕龙胜各族自治县、🕞恭城瑶族自治县):🥒




嘉兴市(海宁市、🍒市辖区、🛡秀洲区、🤔平湖市、😦桐乡市、南湖区、🥭嘉善县、海盐县)




常熟市(方塔管理区、😰虹桥管理区、琴湖管理区、🐊兴福管理区、谢桥管理区、大义管理区、莫城管理区。)宿迁(宿豫区、🙀宿城区、😳湖滨新区、洋河新区。)




台州市(椒江、😸黄岩、🍟️路桥)




泰州市(海陵区、✋高港区、姜堰区、兴化市、🤡泰兴市、❣️靖江市、🕣扬中市、丹阳市、泰州市区、姜堰区、🕣️海安镇、周庄镇、🏓东进镇、世伦镇、💕‍青龙镇、杨湾镇、🕣️马桥镇)




牡丹江市:东安区(部分区域未列出)、🚳️西安区和阳明区和爱民区和绥芬河市和海林市(部分区域未列出)。




雅安市(汉源县、市辖区、🤝名山区、🚫石棉县、🦈荥经县、宝兴县、天全县、💪芦山县、🥯雨城区)




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郴州市(宜章县、🍦嘉禾县、🉑永兴县、🤟汝城县、市辖区、桂东县、北湖区、桂阳县、苏仙区、🖖临武县、安仁县、资兴市)




山南市(错那县、琼结县、👇洛扎县、🍫贡嘎县、❓️桑日县、🍾曲松县、👺浪卡子县、☹️市辖区、隆子县、🥂加查县、😴扎囊县、乃东区、措美县)




南昌市(青山湖区、红谷滩新区、东湖区、✝️西湖区、青山湖区、南昌县、进贤县、安义县、☦️湾里区、🍈地藏寺镇、瑶湖镇、🍨铜鼓县、🐇昌北区、青云谱区、望城坡镇)




株洲市(荷塘、芦淞、石峰、🤤天元)




辽阳市(文圣区、🤛宏伟区、🥗弓长岭区、太子河区、🤖灯塔市、⛳️️辽阳县、白塔区、广德镇、双台镇、桥头镇、长春镇、♓️合德镇、☸️兴隆镇、安平镇、辛寨镇、🍠黄土岭镇)




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保定市(莲池、竞秀)




德州市(陵城区、乐陵市、宁津县、庆云县、☸️️临邑县、🥬平原县、🌷武城县、夏津县、禹城市、德城区、⛸禹城市、🤟齐河县、🐃开封县、双汇镇、⛔️东风镇、商丘市、阳谷县、🔞共青城市、城南新区)




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许昌市(魏都)




济南市(历下、市中、🈹槐荫、🕖️天桥、🐇历城、长清)




安康市(宁陕县、🐆白河县、汉阴县、🤨️岚皋县、石泉县、市辖区、紫阳县、🕜汉滨区、♋️️旬阳县、镇坪县、平利县)




常州市(天宁、😿钟楼、新北、武进、日照坛)




郑州市(中原、二七、管城、日照水、👿上街、惠济)




中卫市(沙坡头区、海原县、中宁县、✨市辖区)




金华市(武义县、东阳市、磐安县、浦江县、🐒‍兰溪市、🍃永康市、婺城区、义乌市、🦟市辖区、金东区)




长沙市(芙蓉、✌天心、岳麓、🍌开福、👍雨花、望城)




葫芦岛市:龙港区、💫南票区、👏连山区。




沧州市(新华区、运河区、🤑沧县、青县、🐲东光县、海兴县、盐山县、肃宁县、南皮县、🕑吴桥县、献县、🌱‍孟村回族自治县、河北沧州高新技术产业开发区、沧州经济技术开发区、🐌任丘市、黄骅市、🤥河间市、泊头市)




邢台市(邢台县、🍾南和县、清河县、临城县、🕒广宗县、威县、宁晋县、😋柏乡县、🦉任县、🌸内丘县、南宫市、沙河市、任县、邢东区、邢西区、❤️平乡县、😋️巨鹿县)




巴彦淖尔市(杭锦后旗、磴口县、💹乌拉特中旗、乌拉特后旗、✳️乌拉特前旗、⛎市辖区、临河区、五原县)




连云港市(连云、海州、赣榆)




淮安市(淮阴区、清河区、淮安区、🥍涟水县、👿洪泽区、🆑️盱眙县、金湖县、楚州区、🐫️淮安区、😍海安县、🌾亭湖区、🐪淮安开发区)




玉林市(玉州)




柳州市(城中、😣鱼峰、🤩柳南、柳北、😌柳江)




新竹县(新丰乡、👐峨眉乡、🈷️湖口乡、关西镇、新埔镇、☝️横山乡、尖石乡、♨️北埔乡、😅竹东镇、宝山乡、🍜芎林乡、五峰乡、竹北市)




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嘉义县(朴子市、😲‍番路乡、民雄乡、竹崎乡、梅山乡、义竹乡、大林镇、🐬布袋镇、新港乡、太保市、六脚乡、🐯大埔乡、🍰鹿草乡、⚡️️溪口乡、水上乡、😆中埔乡、阿里山乡、🈺东石乡)



日本两年期国债收益率飙升至2008年以来最高,市场静候央行利率决议智通财经注意到,日本两年期国债价格下跌,推动收益率升至2008年以来最高水平,追随美国国债在日本央行政策会议前的走势。对货币政策预期敏感的两年期收益率上升0.5个基点至0.885%。美国周度就业数据令市场对美联储本周降息25个基点后今年进一步降息的预期产生疑虑,隔夜美债收益率同样攀升

发布于:北京市
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